洁净室级无尘电缆 
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(1)高可靠半导体设备无尘电缆
极致防尘:特殊密封结构抗静电材料,有效防止内部线缆磨损产生微粒,满足 Class 1/ISO1级洁净室严苛要求。
专业设计:专业力学设计,确保在高速、高频往复运动中平稳顺畅,无卡顿、无抖动。
长寿命:耐磨、抗化学腐蚀材料,显著延长使用寿命,降低维护成本。
定制灵活:支持多规格、多腔室、特殊长度定制,满足各类半导体设备内部空间布局。
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(2)认证/标准:符合 SEMI 标准、ISO 14644洁净室等级要求等。
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(3)应用场景:无尘拖链在光刻机、刻蚀机、晶圆搬运机器人等关键设备内部。